西安励德微系统科技有限公司成立于2010年，是一家专业从事MEMS生产和代工服务的技术创新企业，工艺能力涵盖MEMS全段技术能力，针对硅晶圆、玻璃、SOI及各类柔性材质等不同基底分别建立相应标准制程平台，擅长各种复杂的体硅工艺和SOI工艺，提供的MEMS解决方案涵盖多个领域，包括MEMS微振镜、超透镜、光路耦合器、各类惯性器件、硅通孔、微流控器件等。
公司新建千平6寸MEMS产线一条，涵盖深硅刻蚀、双面光刻、薄膜、清洗、晶圆键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力，研发中试线能够完成从器件设计、工艺开发、工艺验证到批量生产等全产品孵化流程，为国内众多科研院所、创新企业和高等院校提供了切实可行的定制化MEMS加工解决方案。
