杭州晶驰机电有限公司成立于2021年7月,公司总部与研发中心位于杭州市萧山区浙江大学杭州国际科创中心,办公面积约1000 ㎡。
公司致力于精密焊接技术的研究,金属管件和真空腔体的开发与生产。主要为国内外半导体设备——PVD、CVD、PECVD、MOCVD、刻蚀机、离子注入机等提供专用高端精密零部件,是国内外半导体设备厂的重要供应商。同时产品广泛应用于大科学装置、太阳能光伏、LED、制药设备和特种真空设备等一系列高端产业。产品技术达到国际先进水平,处于同行业发展前列。
公司以成为全球先进材料制造装备引领者为愿景,以解决国外对我国半导体设备技术卡脖子问题,提升中国先进材料制造能力,实现国产替代进口为使命,致力于碳化硅、金刚石、氮化铝、氧化镓等第三、四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广。
目前公司产品包括6英寸水平进气和8英寸垂直进气碳化硅外延设备(LPCVD法),金刚石晶体生长设备(MPCVD法),氮化铝晶体生长设备,碳化硅源粉合成炉,碳化硅晶体生长设备(PVT法),氧化镓单晶生长炉(导模法、CZ法),各种晶体和晶片热处理炉。